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      實(shí)驗(yàn)室型等離子清洗機(jī)

      簡(jiǎn)要描述:CIF 推出的新一代科研型等離子清洗設(shè)備,合理的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),優(yōu)化的腔體尺寸,使得處理樣品更大,適用范圍更廣。 產(chǎn)品性能穩(wěn)定,操作簡(jiǎn)單方便,易維護(hù)。

      • 更新日期:2025-05-08
      • 訪  問(wèn)  量:1290

      詳細(xì)介紹

      品牌其他品牌產(chǎn)地類(lèi)別國(guó)產(chǎn)
      應(yīng)用領(lǐng)域醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,生物產(chǎn)業(yè),能源,綜合

      CIF 推出的新一代科研型等離子清洗設(shè)備,合理的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),優(yōu)化的腔體尺寸,使得處理樣品更大,適用范圍更廣。 產(chǎn)品性能穩(wěn)定,操作簡(jiǎn)單方便,易維護(hù)。


      應(yīng)用領(lǐng)域:

      等離子清洗設(shè)備廣泛應(yīng)用于材料學(xué)、微電子、半導(dǎo)體、線 路板、LED、微流控、光電太陽(yáng)能、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域,主要用 于材料表面進(jìn)行清洗、改性、刻蝕等目的。

      實(shí)驗(yàn)室型等離子清洗機(jī)


       產(chǎn)品特點(diǎn):

      ◆  7 寸彩色觸摸屏中英文互動(dòng)操作界面,自動(dòng)控制監(jiān)測(cè)工藝參數(shù)狀態(tài),20 個(gè)配方程序,工藝數(shù)據(jù)可存儲(chǔ)追溯。

      ◆  PLC 控制整個(gè)清洗過(guò)程,手動(dòng)、自動(dòng)兩種工作模式。

      ◆  用美國(guó)德威爾(Dwyer)氣體浮子流量計(jì)或質(zhì)量流量計(jì)  (CPC-FM),可輸入氧氣、氬氣、氮?dú)狻錃饣蚧旌蠚獾葰怏w,氣體控制準(zhǔn)確。

      ◆  氣體返填吹掃,HEPA 高效過(guò)濾,防止二次污染。

      ◆  316 不銹鋼、石英真空艙可選擇,全真空管路系統(tǒng)采用316 不銹鋼材質(zhì),耐腐蝕無(wú)污染。

      ◆  采用 60 度傾角操作面板設(shè)計(jì),符合人體功能學(xué),操作方 便,界面友好。

      ◆  上控制下艙體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),結(jié)構(gòu)緊湊,占地空間小。

      ◆  內(nèi)凹式前面板設(shè)計(jì),有效保護(hù)流量計(jì)和艙門(mén)不易損壞。

      ◆  處理快速高效均勻,無(wú)污染,工藝重復(fù)性好。

      ◆  樣品處理溫度低,無(wú)熱損傷和熱氧化。

      ◆  安全保護(hù),艙門(mén)打開(kāi),自動(dòng)關(guān)閉電源。

       

      技術(shù)參數(shù)

      型號(hào)

      CPC-F

      CPC-Fplus

      CPC-FM

      CPC-FMplus

      射頻電源

      40KHz

      13.56MHz

      40KHz

      13.56MHz

      射頻功率

      0-600W

      0-150W

      0-600W

      0-150W

      匹配器

      自動(dòng)匹配器

      自動(dòng)匹配器

      激發(fā)方式

      電容式或電感耦合(ICP)

      電容式或電感耦合(ICP)

      氣體控制

      雙浮子流量計(jì)

      單路 MFC(可選兩路)

      艙體尺寸

      D200xΦ155mm

      D200xΦ155mm

      艙體材質(zhì)

      不銹鋼或石英玻璃

      不銹鋼或石英玻璃

      艙體容積

      3.8L-5L

      3.8L-5L

      有效處理尺寸

      L200xW155mm

      L200xW155mm

      時(shí)間設(shè)定

      9999 秒

      9999 秒

      真空泵

      抽速 4m3/h

      抽速 4m3/h

      氣體穩(wěn)定時(shí)間

      1 分鐘

      1 分鐘

      真空度

      100pa 以內(nèi)

      100pa 以內(nèi)

        

      AC220V 50/60Hz 766/316W

      AC220V 50/60Hz  752/302W

      產(chǎn)品尺寸

      L440xW410xH455mm

      L440xW410xH455mm

      包裝尺寸

      L560xW560xH685mm

      L560xW560xH685mm

      整機(jī)重量

      32kg

      32kg

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